[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[17p-PA1-1] 高機能非冷却赤外線センサの高性能化III -ナノギャップ3次元プラズモニックメタマテリアル吸収体の作製-

^○植月満治¹，秦久敏¹，三崎浩司¹，小川新平¹，藤澤大介¹，木股雅章² (三菱電機¹，立命館大²)

キーワード：赤外線センサ,plasmonics,metamaterial