2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月17日(水) 13:30 〜 15:30 PA1 (第1体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PA1会場)

13:30 〜 15:30

△ [17p-PA1-4] 集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討

○亀井将太1，山根大輔1，小西敏文2，松島隆明2，年吉洋3，町田克之1,2，益一哉1 (東工大1，NTT-AT2，東大3)

キーワード：CMOS-MEMS,加速度センサ,sub-1G