2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月17日(水) 13:30 〜 15:30 PA1 (第1体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PA1会場)

13:30 〜 15:30

[17p-PA1-6] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(4)

○小西敏文1，山根大輔2，松島隆明1，益一哉2，年吉洋3，町田克之1,2 (NTT-AT1，東工大2，東大3)

キーワード：MEMS,Energy Harvesting, Multi-physics Simulation