13:30 〜 15:30
[17p-PA1-8] MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成
キーワード：大気圧プラズマ,マイクロ流路,ガス-ガス界面
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年9月17日(水) 13:30 〜 15:30 PA1 (第1体育館)
ポスター掲示時間13:30～15:30(PA1会場)