2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

コードシェアセッション » 6.1強誘電体薄膜,9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[17p-PA4-1~15] 6.1強誘電体薄膜,9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA4 (第1体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PA4会場)

16:00 〜 18:00

[17p-PA4-10] スパッタ法を用いたプロトン伝導性酸化物薄膜の成膜条件依存性

○(B)佐藤智也1,舟窪浩2,井上貴明1,内山潔1 (鶴岡高専1,東工大2)

キーワード:燃料電池,酸化物,プロトン伝導