[17p-PA4-1~15] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[17p-PA4-9] パルスポーリングを行ったPZT薄膜の圧電特性と微細構造の経時変化

^○牧本なつみ¹，鈴木靖弘^1,2，前田龍太郎¹，舟窪浩³，小林健¹ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

キーワード：PZT薄膜,圧電特性