[17p-PA5-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-14] 硬X線光電子分光法によるIn₂O₃単結晶の電子状態評価

^○長田貴弘¹，オリバー ビアワーゲン²，ビニュエフ ガラッカ³，上田茂典⁴，吉川英樹¹，井村将隆¹，山下良之¹，呉承俊¹，坂田修身⁴，知京豊裕¹ (物材機構¹，パウル・ドルーテ固体電子工学研究所²，ライプニッツ結晶成長研究所³，SPring-8物材機構⁴)

キーワード：硬Ｘ線光電子分光法,酸化インジウム