16:00 〜 18:00
[17p-PA5-16] NTO/GZO積層膜の電気特性の面内分布と真空アニール効果
キーワード:TCO,GZO,積層
一般セッション(ポスター講演)
合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA5 (第1体育館)
ポスター掲示時間16:00~18:00(PA5会場)
16:00 〜 18:00
キーワード:TCO,GZO,積層