2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-1~22] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA5 (第1体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PA5会場)

16:00 〜 18:00

[17p-PA5-16] NTO/GZO積層膜の電気特性の面内分布と真空アニール効果

菊池大樹,井上創太,舩木修平,山田容士 (島大総理工)

キーワード:TCO,GZO,積層