[17p-PA5-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-19] 酢酸塩を原料としたゾルゲル法によるCuAlO₂薄膜の形成

阿部寛¹，阿部清晃¹，飯坂涼¹，佐藤拓哉¹，^○惠原貴志^1,2 (石巻専修大理工¹，石巻専修大人間²)

キーワード：CuAlO2,透明材料,ゾルゲル法