[17p-PA5-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-5] 触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いてガラス基板上に堆積したZnO薄膜のN₂O添加初期成長膜の挿入効果

^○大橋優樹，叶内慎吾，山口直也，玉山泰宏，安井寛治 (長岡技科大工)

キーワード：ZnO,触媒反応,N₂O添加初期成長膜