[17p-PA5-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-8] ライデンフロスト効果を利用したミストCVDによるFe2O3/Ga2O3多重量子井戸の作製

^○川原村敏幸^1,2，鄧太江⁴，新田紀子^1,3 (高知工大総研¹，高知工大シス工²，高知工大環境理工³，カンタベリー大⁴)

キーワード：量子井戸,ミスト化学気相成長,ライデンフロスト効果