[17p-S11-1~6] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-S11-4] スパッタリングターゲット近傍での気体温度の空間分布

^○松田良信，坂口侑也，有馬直人，篠原正典 (長崎大院工)

キーワード：気体温度,スパッタリング,レーザー吸収分光