[17p-S9-1~17] 3.7 レーザープロセシング

△ [17p-S9-10] SiO₂埋込みCO₂レーザーアニールにより形成したZnO薄膜の結晶性と光応答特性

^○（M2）山崎恒太，池上浩，下垣哲也，渡邊陽介，中村大輔，岡田龍雄 (九大)

キーワード：ZnO,レーザーアニール