[17p-S9-1~17] 3.7 レーザープロセシング

△ [17p-S9-4] SiCのフェムト秒レーザー改質部における電気伝導機構

^○（M1）柳田栄造¹，近藤健太¹，板東洋太¹，出来真斗^1,2，牧野高紘²，大島武²，直井美貴¹，富田卓朗¹ (徳島大工¹，原子力機構²)

キーワード：フェムト秒レーザー