[18a-A10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18a-A10-10] 酸窒化物半導体ZnInONを用いた量子井戸型太陽電池の作製

^○松島宏一^1,2，清水僚太¹，井手智章¹，山下大輔¹，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，古閑一憲¹，白谷正治¹，板垣奈穂^1,3 (九大¹，日本学術振興会特別研究員DC²，JSTさきがけ³)

キーワード：ZnInON,oxynitride,sputtering