[18a-A11-1~10] 6.4 薄膜新材料

△ [18a-A11-10] SiCフラックス成長におけるSiC基板/フラックス界面の高温真空レーザー顕微鏡観察

^○小沼碧海¹，丸山伸伍¹，原田俊太²，宇治原徹²，加藤智久^3,4，蔵重和央^4,5，奥村元^3,4，松本祐司^1,6 (東北大院工¹，名大院工²，産総研³，FUPET⁴，日立化成⁵，JST-ALCA⁶)

キーワード：SiC,レーザー顕微鏡