[18a-A11-1~10] 6.4 薄膜新材料

△ [18a-A11-5] 炭素添加したInSiOチャネル材料の特性

^○栗島一徳^1,2，生田目俊秀²，三苫伸彦²，木津たきお²，塚越一仁²，澤田朋実²，大井暁彦²，山本逸平^2,3，大石知司³，知京豊裕²，小椋厚志¹ (明治大¹，物材機構WPI-MANA²，芝浦工大³)

キーワード：炭素添加