[18a-A13-1~3] 7.5 ビーム・光励起表面反応

[18a-A13-3] ガスクラスターイオン照射によるDLC膜の表面化学修飾

^○（M2）木村旭，林雅祐，豊田紀章，山田公 (兵庫県立大工)

キーワード：GCIB,cluster,DLC