KPFM Imaging of Donor Clusters in Selectively-Doped SOI-FET

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.5 Si-English Session

2014年9月18日(木) 10:30 〜 12:15 A15 (E306)

11:00 〜 11:15

^〇Krzysztof Tyszka^1,2，Daniel Moraru¹，Takeshi Mizuno¹，Ryszard Jablonski²，Michiharu Tabe¹ (Shizuoka Univ.¹，Warsaw Univ. of Tech.²)

キーワード：dopant cluster,KPFM,nanodevice