[18a-A18-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[18a-A18-5] チップ上における高密度波長多重通信のための物理蒸着による窒化シリコンプラットフォームに関する研究

^○張梓懿¹，八子基樹¹，寿寛¹，河合直行¹，土澤泰²，山田浩治²，福田浩²，和田一実¹ (東大¹，NTT MI研²)

キーワード：Silicon Nitride,DWDM