[18a-A24-1~13] 14.4 光物性・発光デバイス

[18a-A24-1] NH₃およびN₂を用いたAl薄膜の直接窒化によるAlN薄膜の形成

^○梶原舜，濱崎聖士，勝俣裕 (明大理工)

キーワード：AlN,直接窒化