[18a-A25-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-A25-5] 歪み補償系多重積層Ge/Si_1-xC_x自己形成量子ドットの構造評価

^○後藤和泰¹，大島隆治²，菅谷武芳²，坂田功²，松原浩司²，近藤道雄^1,2 (東工大総理¹，産総研²)

キーワード：自己形成,量子ドット,歪み補償