2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18a-A27-1~13] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:30 A27 (N302)

09:00 〜 09:15

[18a-A27-1] 電気化学エッチングによるGaN多孔質構造の形成と形状制御の向上

熊崎祐介,渡部晃生,谷田部然治,佐藤威友 (北大量集セ)

キーワード:GaN,電気化学エッチング,多孔質ナノ構造