[18a-A8-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18a-A8-4] 原子層堆積（ALD）Al₂O₃膜の高温電気特性

^○松村大輔，齊藤達也，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：ALD,Al2O3,ダイヤモンド