[18a-A8-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18a-A8-5] ALD-Al₂O₃ C-HダイヤモンドMOSFETの高耐圧特性

^○北林祐哉，山田哲也，許德琛，坪井秀俊，齊藤達也，松村大輔，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：半導体,ダイヤモンド,電界効果トランジスタ