[18a-A9-1~9] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [18a-A9-2] コンビナトリアルスパッタ法によるBZT-BCT 圧電薄膜の組成依存性評価

^○黒川文弥，森亮，辻浦裕一，肥田博隆，神野伊策 (神大院工)

キーワード：Piezoelectric thin films,Lead-free