[18a-A9-1~9] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [18a-A9-8] PbTiO₃エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

^○片田克吉¹，柳谷隆彦¹，鈴木雅視¹，和佐清孝² (名工大¹，横浜市大²)

キーワード：圧電薄膜共振子,分極反転,スパッタ