[18a-A9-1~9] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[18a-A9-9] パルスポーリングしたPZT 薄膜を集積化した圧電MEMS カンチレバーのユニポーラ駆動特性

^○小林健¹，牧本なつみ¹，鈴木靖弘²，舟窪浩³，前田龍太郎¹ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

キーワード：ポーリング,圧電