[18a-B2-1~14] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[18a-B2-2] プロトンマイクロビームとレンジシフターを利用した３次元加工技術の開発

^○酒井卓郎¹，安田良¹，飯倉寛¹，江夏昌志²，佐藤隆博²，石井保行² (原子力機構量子ビーム¹，原子力機構高崎研²)

キーワード：微細加工,range shifter,PBW