[18a-C5-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18a-C5-11] サファイア基板の窒化によるAlNの結晶性改善とAlGaN量子井戸の発光強度の向上

^○柴岡真実，船戸充，川上養一 (京大院工)

キーワード：AlN,AlGaN