[18a-PA3-1~56] 17. ナノカーボン

[18a-PA3-16] CNW-FETプロセスへの低温バッファー層の影響

^○河原敏男¹，中川幸紀¹，大野泰秀²，前橋謙三²，松本和彦²，岡本一将³，宇都宮里佐⁴，松葉晃明⁴，吉村雅満⁵，松岡佑樹⁵ (中部大工¹，阪大産研²，北大院工³，日新電機⁴，豊田工大工⁵)

キーワード：カーボンナノウォール,自己組織化,電界効果トランジスタ