[18a-PA3-1~56] 17. ナノカーボン

[18a-PA3-24] ナノ膜厚触媒を用いた炭素膜の合成

^○楠本雄司¹，西森俊作¹，針谷達¹，小路紘史¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大総研ナノテクC²)

キーワード：触媒,プラズマCVD,ナノ膜厚