PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 1 09:30 〜 11:30 [18a-PA3-5] プラズマ処理によるイオン注入4H-SiC上のp-typeグラフェン層の形成 ○(M1)椎名裕亮1,青柳大輝1,西村智朗2,中村徹1 (法政大理工1,法政大イオンビーム2) キーワード:グラフェン,SiC