[18a-PB1-1~4] 1.1 応用物理一般・学際領域

[18a-PB1-2] ta-C薄膜の深紫外光照射損傷と熱処理損傷のラマン分光による解析

^○神津知己^1,2，山口誠³，川口雅弘⁴，西田謙²，島宏美² (レニショー¹，防衛大²，秋田大³，都立産業技術研究センター⁴)

キーワード：Raman,ta-C,deep ultraviolet