[18a-S1-1~4] プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[18a-S1-2] 「プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演」（30分）
フルオロカーボンプラズマによるSiO₂/Siホールエッチングの際に引き起こされるダメージ分布のモデリングとシミュレーション

^○久保井信行，辰巳哲也，小林正治，木下隆，小町潤，深沢正永，安斎久浩 (ソニー)

キーワード：ダメージ,エッチング,Si