10:30 〜 11:00
[18a-S1-3] 「8.プラズマエレクトロニクス 分科内招待講演」(30分)
ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測
キーワード:プラズマプロセス,その場観測,ナノ材料
シンポジウム(口頭講演)
08.プラズマエレクトロニクス » プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演
2014年9月18日(木) 09:15 〜 11:30 S1 (S1)
10:30 〜 11:00
キーワード:プラズマプロセス,その場観測,ナノ材料