[18p-A13-1~13] 原子・分子ビームによる表面反応制御とその応用展開

△ [18p-A13-4] Si含有DLC膜の原子状酸素照射効果

^○貴傳名健悟¹，新部正人¹，横田久美子²，田川雅人²，古山雄一³，小松啓志⁴，齋藤秀俊⁴，神田一浩¹ (兵庫県立大高度研¹，神戸大院工²，神戸大院海事³，長岡技科大⁴)

キーワード：Si-DLC