1:45 PM - 2:00 PM
[18p-A14-3] Cu pattern etching by using Gas Cluster Ion Beam
Keywords:ガスクラスターイオンビーム,エッチング
Oral presentation
07. Beam Technology and Nanofabrication » 7.6 Ion beams
Thu. Sep 18, 2014 1:15 PM - 6:15 PM A14 (E305)
1:45 PM - 2:00 PM
Keywords:ガスクラスターイオンビーム,エッチング