[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-3] ガスクラスターイオンビームによるCuパターンエッチング

^○日野浦諒¹，豊田紀章¹，原謙一²，山田公¹ (兵庫県立大院工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム,エッチング