2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

2014年9月18日(木) 13:15 〜 18:15 A14 (E305)

15:00 〜 15:15

[18p-A14-7] CnH2n+1+イオンビームを照射したシリコン基板の照射損傷評価

林恭平,竹内光明,龍頭啓充,高岡義寛 (京大光・電子理工セ)

キーワード:テトラデカン