[18p-A18-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-A18-11] レーザーアニールを用いたSi上Ge pinフォトダイオードの高性能化

^○永友翔¹，川俣勇太¹，井澤友策²，星野聡彦³，石川靖彦¹ (東大院工¹，東京エレクトロン宮城²，東京エレクトロン³)

キーワード：シリコンフォトニクス,ゲルマニウム