[18p-A18-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-A18-8] ArFリソグラフィで作製したシリコン光変調器の諸特性

秋山傑，馬場威，今井雅彦，森雅彦，^○臼杵達哉 (光電子融合基盤技術研)

キーワード：シリコンフォトニクス,光変調器