[18p-A20-1~6] 15.7 エピタキシーの基礎

[18p-A20-1] 溝形状と単結晶アルミナ基板の歪解放との関係

^○吉武道子，柳生進二郎，知京豊裕 (物材機構)

キーワード：ひずみ解放,結晶方位