[18p-A21-1~18] 11.1 基礎物性

[18p-A21-18] 集束イオンビームアシスト蒸着法によるタングステン超伝導薄膜とカイラル超伝導体Sr₂RuO₄接合の作製と評価

^○田野佑典¹，石黒亮輔²，永合祐輔¹，柏谷聡³，米澤進吾⁴，Anwar Muhammad⁴，高柳英明¹，河野公俊²，前野悦輝⁴ (東理大理¹，理研CEMS²，産総研³，京大理⁴)

キーワード：集束イオンビームアシスト蒸着法,superconductor,tangsten