[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [18p-A22-15] ダイヤモンドMOSFETのゲート容量の周波数依存性

^○（M1）原田和也¹，平間一行²，大石敏之¹，嘉数誠¹ (佐賀大院工¹，NTT物性基礎研²)

キーワード：ダイヤモンド,周波数依存性,MOSFET