2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月18日(木) 14:00 〜 18:00 A22 (E314)

16:15 〜 16:30

[18p-A22-9] InAlNスペーサを用いたAlGaN/GaN及びInAlN/GaNヘテロ構造の電気的特性評価

村越弘昌,渡邉新,江川孝志 (名工大院)

キーワード:GaN HEMT