[18p-A25-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-A25-2] 炭素・水素を含むCZ-Si結晶中に形成されるUltrashallow Thermal Donorの形成メカニズム

^○原明人，淡野照義 (東北学院大)

キーワード：Ultrashallow Thermal Donor,Silicon