[18p-A25-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [18p-A25-7] 多結晶シリコン中の窒素酸素複合体の熱処理挙動

^○佐藤邦孝^1,2，小椋厚志¹，小野春彦^1,2 (明治大¹，神奈川県産技セ²)

キーワード：多結晶シリコン,軽元素不純物,赤外吸収法