[18p-A27-1~17] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18p-A27-11] バイオテンプレート極限加工による高密度InGaN/GaN量子ナノ構造の作製

^○（PC）李昌勇^1,5，肥後昭男²，太田実雄³，山下一郎^4,5，藤岡洋^3,5，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，東大生産研³，奈良先端大⁴，JST-CREST⁵)

キーワード：InGaN量子ナノ構造,中性粒子ビームエッチング