[18p-A6-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [18p-A6-2] 反応性高温斜め蒸着法によるGa₂O₃ナノワイヤの成長に及ぼす間欠蒸着の影響

^○山崎世紀，南竹春彦，鈴木基史 (京大院工)

キーワード：ナノワイヤ,Ga2O3,VLS成長